產品概述

ZYGO Qualifire系列是美國ZYGO公司推出的高性能激光干涉儀產品，專為光學元件和光學系統的快速、精確測量而設計。作為全球光學計量領域的，ZYGO的Qualifire系列結合了優良的激光干涉技術和用戶友好的操作界面，為光學制造、科研和質量控制提供了可靠的測量解決方案。美國ZYGOQualifire干涉儀

核心技術與特點

1. 高精度測量能力

• 采用穩定的He-Ne激光源，波長穩定性達±0.05ppm

• 波前測量精度優于λ/20 (λ=632.8nm)

• 相位測量分辨率達到λ/1000

2. 模塊化設計

• 可配置多種傳輸鏡頭和適配器

• 支持平面、球面和非球面光學元件的測量

• 靈活的系統擴展能力，可集成自動對準系統

3. 快速測量

• 的動態干涉技術(Dynamic Interferometry®)

• 單次采集時間可短至1/60秒

• 振動不敏感設計，適合生產車間環境

4. 智能分析軟件

• MetroPro®專業分析軟件平臺

• 自動化測量流程和報告生成

• 符合ISO和MIL標準的數據分析功能

主要應用領域

• 光學制造：透鏡、反射鏡、棱鏡等光學元件的面形檢測

• 精密工程：機械零件平面度、平行度測量

• 半導體工業：光刻機光學系統檢測

• 科研機構：天文望遠鏡、激光系統等大型光學裝置檢測

• 質量控制：生產線上的快速光學元件檢測

產品系列

Qualifire系列包含多個型號，滿足不同應用需求：

1. Qualifire® Classic：基礎型號，適用于大多數平面和球面光學檢測

2. Qualifire® Asphere：配備專用軟件和硬件，支持非球面測量

3. Qualifire® IR：紅外版本，支持中紅外光學元件檢測

4. Qualifire® Fizeau：斐索型干涉儀，用于高精度絕對測量

技術優勢

ZYGO Qualifire系列相比傳統干涉儀具有顯著優勢：

1. 環境適應性：優良的振動補償技術，降低了對隔震平臺的要求

2. 操作簡便：直觀的用戶界面，縮短了操作人員培訓時間

3. 測量效率：快速采集和分析能力，大幅提高檢測吞吐量

4. 數據可靠性：經過驗證的測量算法，確保數據的一致性和可追溯性

服務與支持

ZYGO為Qualifire用戶提供全面的技術支持：

• 全球服務網絡

• 定期校準服務

• 軟件升級和維護

• 應用工程師技術支持

結語

ZYGO Qualifire激光干涉儀代表了現代光學計量技術的優良水平，其的性能和可靠性使其成為光學制造和質量控制領域的理想選擇。無論是研發實驗室還是批量生產環境，Qualifire系列都能提供精確、高效的測量解決方案，幫助用戶提升產品質量和生產效率。美國ZYGOQualifire干涉儀