上一個：
返回列表
服務(wù)熱線
17701039158
產(chǎn)品中心
PRODUCTS CNTER
當(dāng)前位置：首頁
產(chǎn)品中心激光干涉儀Zygo激光干涉儀ZYGO白光干涉儀：高精度表面測量
產(chǎn)品簡介
ZYGO白光干涉儀：高精度表面測量ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀為精密制造行業(yè)提供可靠的表面測量方案，支持快速、非接觸式檢測，提升質(zhì)量控制效率。
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀 ZYGO白光干涉儀采用*的白光干涉技術(shù)，通過測量光程差來獲取樣品表面的三維形貌和粗糙度信息。其非接觸式測量方式確保了樣品的完整性和測量的可靠性。設(shè)備支持多種樣品臺和自動聚焦功能，便于靈活調(diào)整測量參數(shù) ZYGO白光干涉儀：高精度表面測量
產(chǎn)品性能
•測量范圍：0.1nm至10mm（垂直方向）
•橫向分辨率：最高可達(dá)0.5μm
•重復(fù)性：優(yōu)于0.1%
•支持多種測量模式：臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材與結(jié)構(gòu)
儀器主體采用高穩(wěn)定性鋁合金框架，光學(xué)部件選用低熱膨脹系數(shù)玻璃，確保長期測量穩(wěn)定性。載物臺采用防震設(shè)計，減少環(huán)境振動干擾。
參數(shù)表
型號 | 垂直分辨率 | 最大掃描范圍 | 適用樣品 |
|---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微結(jié)構(gòu) |
用途
•半導(dǎo)體晶圓檢測
•光學(xué)鏡面質(zhì)量分析
•MEMS器件形貌測量
•精密機械加工表面評估
ZYGO白光干涉儀：高精度表面測量 ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀
服務(wù)熱線：17701039158
公司地址：北京市房山區(qū)長陽鎮(zhèn)
公司郵箱：qiufangying@bjygtech.com掃碼加微信
Copyright©2025 北京儀光科技有限公司 版權(quán)所有 備案號：京ICP備2021017793號-2 sitemap.xml
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登陸