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產品中心三維光學輪廓儀BEUKER白光干涉光學輪廓儀布魯克白光干涉光學輪廓儀選擇操作注意事項
產品簡介
布魯克白光干涉光學輪廓儀選擇操作注意事項布魯克白光干涉儀的應用范圍覆蓋了從前沿科學研究到工業化生產的多個環節。
產品分類
選擇合適的白光干涉儀并規范操作，是獲得可靠數據的基礎。布魯克提供不同型號和配置，以滿足多樣化的需求和預算。布魯克白光干涉光學輪廓儀選擇操作注意事項
在選擇時，需考慮幾個因素：測量范圍（所需的最大臺階高度和橫向視野）、分辨率（需要分辨的最小特征）、自動化程度（是否需要自動臺和自動鏡頭切換）以及樣品特性（是否有透明、高反光或高陡坡樣品）。例如，對于以粗糙度分析為主的用戶，標準配置即可滿足；而對于半導體檢測，則可能需要更高分辨率和專用分析模塊。
在使用操作上，有幾個常見注意事項：
樣品準備: 確保樣品表面清潔，無松散顆粒，以免污染物鏡。
校準: 定期使用標準臺階高度塊進行儀器校準，保證測量準確性。
物鏡選擇: 根據待測特征尺寸選擇合適倍率的物鏡，低倍看整體，高倍看細節。
參數設置: 合理設置掃描長度和步長，過大會增加測量時間，過小可能丟失細節。
環境: 盡管有隔震系統，但仍建議將儀器放置在相對穩定的工作臺上，避免強氣流和溫度劇烈波動。
正確的選型與規范的操作為延長設備使用壽命和保證數據質量提供了條件。
軟件是其價值的核心體現。測量完成后，軟件提供豐富的分析工具：
三維形貌視圖: 以直觀的三維圖像展示表面起伏。
二維輪廓提取: 可在任意位置截取截面線，進行臺階高度、角度等尺寸量測。
粗糙度分析: 依據國際標準（如ISO 25178），計算Sa, Sq, Sz等一系列粗糙度參數。
體積分析: 用于分析磨損、腐蝕或材料的體積損失。
統計與報表生成: 可對多次測量結果進行統計分析，并一鍵生成定制化的檢測報告。
這些功能將原始的干涉數據轉化為有價值的量化信息，為工藝改進和質量控制提供直接依據。布魯克白光干涉光學輪廓儀選擇操作注意事項