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產品中心三維光學輪廓儀BEUKER白光干涉光學輪廓儀布魯克白光干涉光學輪廓儀應對材料表面測量
產品簡介
布魯克白光干涉光學輪廓儀應對材料表面測量布魯克白光干涉儀的應用范圍覆蓋了從前沿科學研究到工業化生產的多個環節。
產品分類
許多工業及科研樣品表面復雜，可能存在高陡坡、多層薄膜或反射率差異大的區域。布魯克白光干涉儀通過特定的技術設計來處理這些情況。布魯克白光干涉光學輪廓儀應對材料表面測量
對于具有高深寬比或陡峭側壁的結構，儀器配備的長工作距離物鏡和光路設計，有助于光線抵達特征底部并返回，從而改善了對復雜形貌的還原度。其增強的算法對斜率較大的區域也能進行有效的分析。
在測量晶圓上的透明薄膜或涂層時，可能會遇到多層干涉信號的干擾。設備提供的選配分析模塊，能夠辨識并區分這些信號，從而評估薄膜厚度或下層界面的形貌。
面對反射率過高或過低的樣品，用戶可調節光源強度，并可選擇安裝偏振附件來優化干涉效果，避免信號失真，使得在不同材質上都能獲得較清晰的測量數據，擴展了其應用范圍。
典型型號: ContourX-500
主要用途: 應用于半導體、材料科學、精密光學及微機電系統（MEMS）等領域，進行表面粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數的測量與分析。
使用簡介: 通過計算機軟件進行操作。放置樣品后，選取合適的物鏡，在軟件界面中調整光路和掃描參數，即可啟動自動測量并生成三維數據。
基礎參數示例:
垂直分辨率: 優于0.1 nm
最大垂直量程: 5 mm
標配物鏡: 5X, 10X, 20X, 50X
樣品臺行程: 100 x 100 mm
軟件是其價值的核心體現。測量完成后，軟件提供豐富的分析工具：
三維形貌視圖: 以直觀的三維圖像展示表面起伏。
二維輪廓提取: 可在任意位置截取截面線，進行臺階高度、角度等尺寸量測。
粗糙度分析: 依據國際標準（如ISO 25178），計算Sa, Sq, Sz等一系列粗糙度參數。
體積分析: 用于分析磨損、腐蝕或材料的體積損失。
統計與報表生成: 可對多次測量結果進行統計分析，并一鍵生成定制化的檢測報告。
這些功能將原始的干涉數據轉化為有價值的量化信息，為工藝改進和質量控制提供直接依據。布魯克白光干涉光學輪廓儀應對材料表面測量