一款測量設備的性能表現，很大程度上取決于其硬件配置的優(yōu)劣。Zygo 3D 光學輪廓儀 NewView™ 9000 在硬件選材與結構設計上的精心考量，為其穩(wěn)定高效的測量能力提供了堅實保障。
光學系統(tǒng)作為 NewView™ 9000 的核心，在元件選擇上十分嚴格。其核心光學鏡片采用高純度熔融石英材質，這種材料具有極低的熱膨脹系數和良好的光學均勻性，能在溫度變化時保持穩(wěn)定的光學性能，減少因材料形變導致的光路偏移。鏡片表面經過多層鍍膜處理，鍍膜材料選用高硬度的氧化物，不僅能提高光線透過率，減少反射損失，還能增強鏡片的耐磨性和抗腐蝕能力，延長使用壽命。
Mirau 干涉物鏡作為 Zygo 的部件，在材質與結構上頗具特色。物鏡鏡筒采用鈦合金打造，鈦合金不僅重量輕，還具有出色的機械強度和穩(wěn)定性，能有效抵抗外界振動對光學系統(tǒng)的影響。物鏡內部的參考鏡選用高精度平面反射鏡，其平面度誤差控制在 0.1λ 以內（λ=632.8nm），確保反射光線的穩(wěn)定性，為干涉條紋的清晰成像提供基礎。該物鏡有 5 倍、10 倍、20 倍、50 倍、100 倍等多種規(guī)格，滿足不同放大倍數的測量需求。
圖像采集組件同樣是硬件配置的亮點。NewView™ 9000 搭載 1200 萬像素高分辨率 CCD 相機，該相機采用全局快門設計，能有效避免滾動快門造成的圖像畸變，確保快速運動時的成像質量。相機的像素尺寸為 5.5μm×5.5μm，配合高數值孔徑的物鏡，能實現較高的空間分辨率，捕捉樣品表面的細微結構。相機的數據傳輸接口采用高速 USB 3.0 標準，單幀圖像的傳輸時間可控制在 0.1 秒以內，保證了測量的高效性。
樣品臺的設計充分考慮了測量的穩(wěn)定性與便利性。樣品臺臺面采用航空鋁合金材質，經過精密加工，平面度誤差控制在 5μm/m 以內，為樣品提供平整的放置基礎。臺面表面覆蓋一層耐磨陶瓷涂層，陶瓷涂層硬度高、摩擦系數小，既能保護臺面免受樣品劃傷，又能減少樣品在測量過程中的滑動。樣品臺的驅動系統(tǒng)采用精密滾珠絲杠與伺服電機組合，X、Y 軸的移動范圍均為 300mm，定位精度可達 1μm，重復定位誤差小于 0.5μm，確保樣品能被精準移動到測量位置。
設備的機身結構采用剛性框架設計，主體框架選用優(yōu)質鋼材，經過焊接和時效處理，消除內應力，確保結構的穩(wěn)定性。機身內部安裝有多重減震裝置，包括空氣彈簧和橡膠減震墊，能有效吸收外界振動，將設備的振動幅度控制在 50nm 以內。同時，機身配備獨立的恒溫控制系統(tǒng)，通過精密溫控傳感器和加熱 / 制冷模塊，將內部工作溫度穩(wěn)定在 23℃±0.1℃，減少溫度波動對光學系統(tǒng)和機械結構的影響。
在連接與擴展方面，NewView™ 9000 配備了豐富的接口，包括 USB 3.0、以太網、RS232 等，方便與計算機、打印機等外部設備連接。設備還支持多種可選配件，如自動聚焦模塊、激光定位器、大樣品載物臺等，用戶可根據實際需求進行擴展，提升設備的適用性。
這些硬件配置的優(yōu)勢，讓 NewView™ 9000 在電子半導體、光學制造、精密機械等多個領域都能發(fā)揮重要作用。無論是測量芯片表面的細微結構，還是檢測光學鏡片的平整度，它都能憑借穩(wěn)定的硬件性能，提供可靠的測量數據。
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