基恩士 VK?X3000 激光共聚焦顯微鏡概覽

基恩士 VK?X3000 是面向材料形貌與尺寸測量的激光共聚焦顯微系統。該儀器采用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化三種掃描原理，可根據樣品的材質、形狀和測量范圍靈活切換，實現 42?28800 倍的放大范圍，無需手動對焦。

產品細節

• 光源：激光（波長 ≤?405?nm，壽命 ≥?1?萬小時）+ 白光 LED（壽命 ≥?3?萬小時），滿足高功率、長壽命需求。

• 光學系統：雙共焦針孔、遠心鏡頭設計，確保整體測量精度；配備 292 種分析工具，可實現高度、尺寸、粗糙度等多維度測量。

• 掃描性能：面掃描最高 125?Hz，線掃描最高 7900?Hz，支持高速 3D 形貌獲取。分辨率可達 0.01?nm，重復性 1?σ ≤?12?nm（高度）/40?nm（寬度）。

• 檢測器：光電倍增管 16?bit，具備高靈敏度光電探測能力。

主要參數表

適用領域

• 半導體器件三維形貌與尺寸檢測

• 微電子封裝結構分析

• 高分子材料表面粗糙度測量

• 生物醫學樣本的形態學觀察

使用說明要點

1. 樣品準備：確保樣品表面清潔、平整；對透明或高反射樣品可選用白光干涉模式。

2. 模式選擇：在軟件界面選擇激光共聚焦、白光干涉或聚焦變化；系統會自動匹配對應光學路徑。

3. 參數設定：設定掃描范圍、分辨率、幀數；推薦先使用低分辨率預掃描定位感興趣區域。

4. 自動聚焦：系統具備自動聚焦功能，啟動后可在數秒內完成對樣品的最佳焦點定位。

5. 數據導出：測量結果可導出為 CSV、TXT、DXF 等通用格式，便于后續統計與 CAD 處理。