布魯克光學輪廓儀三維測量新維度

ContourX-200是布魯克推出的臺式三維光學輪廓儀，采用白光干涉（WLI）技術實現(xiàn)非接觸式表面形貌測量。其核心配置包括5百萬像素攝像頭與電動XY載物臺，支持2D/3D高分辨率測量。設備垂直分辨率優(yōu)于0.01nm，水平分辨率達0.5μm（Sparrow準則），掃描量程≤10mm，可精準捕捉微米級結構變化。機身采用輕量化合金框架，搭配可拆卸防塵蓋板，適配車間環(huán)境。光學鏡頭經多層增透膜處理，減少表面反射干擾，確保成像清晰。樣品臺配備彈性硅膠夾具，兼容金屬、塑料、陶瓷等多材質電子件，避免劃傷敏感表面。軟件系統(tǒng)集成Vision64與VisionXpress，支持ISO 25178等標準分析，滿足半導體、MEMS、醫(yī)療設備等領域的質量控制需求。

1. 產品細節(jié)與性能：

• 采用白光干涉（WLI）技術，具有高Z軸分辨率（<0.01nm）和水平分辨率（0.38μm Sparrow準則，0.13μm帶AcuityXR®）。

• 配備5百萬像素攝像頭和電動XY載物臺，支持2D/3D高分辨率測量。

• 最大掃描量程≤10mm，垂直分辨率<0.01nm，水平分辨率0.5μm（Sparrow準則），臺階高度準確性<0.75%，重復性<0.1% 1sigma。

• 樣品反射率范圍0.05%到100%，最大樣品高度≤100mm，XY平臺行程150mm。

• 防震設計穩(wěn)定，工作溫度15-30℃，適應電子車間環(huán)境。

2. 用材與結構設計：

• 機身采用輕量化合金框架，防塵蓋板可拆卸，減少粉塵影響。

• 光學鏡頭使用高透光率玻璃，多層增透膜處理，減少反射光干擾。

• 樣品臺設計有彈性硅膠夾具，保護樣品表面，適應不同形狀的元器件。

3. 型號與用途：

• 屬于ContourX系列，型號為ContourX-200，適用于半導體、眼科、醫(yī)療設備、MEMS、摩擦學等領域。

• 支持多種國際標準（如ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287）的定制化分析報告。

• 應用于精密電子件、微型傳感器、PCB板線路、連接器引腳等檢測，以及科研和工業(yè)生產中的表面形貌分析。

4. 操作說明與維護：

• 操作面板防水防油，適應車間環(huán)境。

• 支持手動與半自動模式，適應不同樣品切換和批量檢測需求。

• 軟件系統(tǒng)為Vision64和VisionXpress，支持自動化功能如自動拼接、網格自動化、自動對焦等。

• 維護建議包括定期清潔光學鏡頭和樣品臺，性能驗證和校準，放置在潔凈、干燥、無強氣流和振動環(huán)境中。

5. 參數(shù)表：

• 垂直分辨率<0.01nm，水平分辨率0.5μm，最大掃描量程≤10mm，臺階高度準確性<0.75%，重復性<0.1% 1sigma，樣品反射率0.05%-100%，樣品高度≤100mm，XY平臺行程150mm，重量67kg，尺寸480mm(W)x604mm(D)x754mm(H)。

布魯克光學輪廓儀三維測量新維度