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產(chǎn)品中心激光干涉儀ZYGO光學(xué)輪廓儀ZeGage ProZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的軟件功能與分析能力
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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的軟件功能與分析能力ZeGage Pro的性能發(fā)揮離不開(kāi)其配套的MetroPro軟件。該軟件是儀器的控制中樞和數(shù)據(jù)分析平臺(tái)，其功能設(shè)計(jì)考慮了從初學(xué)者到經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師的不同需求。
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ZeGage Pro的性能發(fā)揮離不開(kāi)其配套的MetroPro軟件。該軟件是儀器的控制中樞和數(shù)據(jù)分析平臺(tái)，其功能設(shè)計(jì)考慮了從初學(xué)者到經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師的不同需求。
在測(cè)量控制方面，軟件界面提供了直觀的儀器狀態(tài)顯示和參數(shù)設(shè)置面板。用戶可以進(jìn)行實(shí)時(shí)視頻預(yù)覽，方便快速地找到待測(cè)區(qū)域。軟件支持自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)和自動(dòng)掃描范圍查找，這些自動(dòng)化功能降低了操作門檻，提高了設(shè)置效率。對(duì)于復(fù)雜的測(cè)量任務(wù)，用戶可以手動(dòng)設(shè)置掃描長(zhǎng)度、采樣密度等參數(shù)，以滿足特定的測(cè)量要求。
在數(shù)據(jù)分析方面，MetroPro軟件提供了一系列強(qiáng)大的處理工具。基本處理包括調(diào)平、剔除異常點(diǎn)以及選擇不同的參考平面。軟件內(nèi)置了符合ISO 25178等一系列國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的分析參數(shù)，可以一鍵計(jì)算表面的粗糙度（Sa、Sq）、波紋度、平面度、臺(tái)階高度、體積等一系列參數(shù)。
軟件的高級(jí)分析功能還包括：紋理和紋路方向分析、功率譜密度分析、孔隙率分析等。用戶可以對(duì)三維形貌數(shù)據(jù)進(jìn)行截面分析，獲取任意線條的輪廓曲線。所有分析結(jié)果都可以通過(guò)多種圖形方式呈現(xiàn)，如三維形貌圖、二維等高線圖、偽彩色圖等，使得表面特征一目了然。
此外，軟件支持測(cè)量模板的創(chuàng)建和批量處理。對(duì)于重復(fù)性檢測(cè)任務(wù)，用戶可以創(chuàng)建一個(gè)包含所有測(cè)量和分析步驟的“配方"，后續(xù)只需加載該配方，軟件即可自動(dòng)完成對(duì)多個(gè)相同樣品的測(cè)量和報(bào)告生成，極大地提升了檢測(cè)流程的效率和數(shù)據(jù)的一致性。測(cè)量報(bào)告可以自定義格式，并直接導(dǎo)出為PDF、Excel等通用文件格式，便于數(shù)據(jù)歸檔和共享。
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