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ZYGO 3D光學輪廓儀的使用與維護要點

產品簡介

ZYGO 3D光學輪廓儀的使用與維護要點
正確的操作和定期的維護是保證ZeGage Pro長期穩定運行和測量數據可靠性的重要環節。

產品型號:ZeGage Pro
更新時間:2025-10-09
廠商性質:代理商
訪問量:13
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ZYGO 3D光學輪廓儀的使用與維護要點

正確的操作和定期的維護是保證ZeGage Pro長期穩定運行和測量數據可靠性的重要環節。

使用環境要求: 儀器應放置在清潔、干燥、無腐蝕性氣體的環境中。工作臺需要穩固,以盡可能減少振動。環境溫度應保持穩定,避免陽光直射和空調出風口的直接吹拂,劇烈的溫度波動會影響測量的穩定性。

開機與準備: 開機前,檢查電源線和網線連接是否牢固。開機后,系統會進行自檢,建議預熱一段時間(如30分鐘),讓光學系統和光源達到穩定狀態。每次測量前,檢查樣品臺是否清潔,樣品是否固定穩妥。


ZYGO 3D光學輪廓儀的使用與維護要點



測量流程簡述:

  1. 放置樣品: 輕拿輕放,避免碰撞物鏡和樣品臺。

  2. 軟件操作: 打開MetroPro軟件,連接儀器。使用實時視頻找到待測區域。

  3. 選擇物鏡: 根據所需視野和分辨率,通過軟件切換合適的物鏡。

  4. 調整光強: 使用軟件的自動或手動光強調節功能,確保干涉條紋清晰且信號強度適中。

  5. 設置參數: 設置掃描長度和采樣間隔。對于不熟悉的樣品,可先使用自動掃描功能。

  6. 開始測量: 點擊開始,儀器將自動完成掃描。測量過程中應避免觸碰工作臺。

  7. 數據分析: 測量完成后,在軟件中使用相應的工具進行處理和分析,并保存數據和報告。

日常維護:

  • 清潔: 定期用軟毛刷或吹氣球清除樣品臺和儀器外部的灰塵。物鏡鏡片是精密光學部件,如有污染,需使用專用的鏡頭紙和清潔劑,按照規范輕輕擦拭。

  • 校準: 為保證測量精度,建議按照廠家推薦的周期,使用標準參考件(如階梯高度標準板)對儀器進行垂直標定和橫向標定。

  • 存放: 長期不使用時,應蓋上防塵罩,并將儀器存放在符合環境要求的地方。

遵循這些操作和維護指南,可以有效延長ZeGage Pro的使用壽命,并確保其始終處于合適的工作狀態

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