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ZeGage Pro激光干涉儀的多樣化應(yīng)用場景? ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學(xué)輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術(shù)（CSI），能夠?qū)某饣轿⒋植诘母鞣N表面進(jìn)行三維形貌測量和二維輪廓分析。