Sensofar非接觸式3D表面光學輪廓儀S lynx

在精密制造與材料科學領域，表面形貌的精準測量是質量控制與研發創新的核心環節。西班牙Sensofar公司推出的S lynx 2 3D表面光學輪廓儀，憑借其突破性的三合一測量技術、緊湊型設計及智能化算法，重新定義了非接觸式表面測量的行業標準，成為工業檢測與科研分析領域的關鍵工具。

一、技術革新：三合一測量體系的協同優勢

S lynx 2的核心競爭力在于其集成了干涉測量、共聚焦成像與AI多焦面疊加三種技術，形成覆蓋全尺度表面的測量矩陣：

干涉測量技術

針對光滑表面（Ra<10nm）的亞納米級精度需求，S lynx 2采用白光干涉原理，通過分析光程差產生的干涉條紋，實現垂直分辨率達0.1nm的超高精度測量。該技術尤其適用于半導體晶圓、光學鏡片等超光滑表面的粗糙度分析，可精準捕捉納米級缺陷與形貌變化。

共聚焦成像技術

對于中等粗糙度表面（Ra 10nm-1μm），共聚焦技術通過針孔濾波排除離焦光干擾，結合高速振鏡掃描，在水平方向實現亞微米級分辨率。其優勢在于可同時獲取表面高度與反射率信息，適用于金屬加工件、陶瓷涂層等材料的形貌與紋理復合分析。

AI多焦面疊加技術

針對粗糙表面（Ra>1μm）或大高差樣品（如3D打印構件、地質樣本），S lynx 2創新性地引入深度學習算法，通過多焦面圖像融合技術，突破傳統光學輪廓儀的動態范圍限制。實驗數據顯示，該技術可在10mm垂直行程內保持0.5μm的重復性精度，同時將測量效率提升至傳統方法的3倍以上。

二、系統設計：緊湊性與功能性的平衡藝術

S lynx 2在工業級性能與實驗室級精度之間實現了平衡：

空間效率：整機尺寸僅420mm×380mm×580mm，重量不足35kg，可靈活部署于潔凈車間或研發實驗室。其模塊化設計支持快速更換物鏡（2.5×-100×可選）與光源（白光/LED雙模式），適應不同測量場景。

電動平臺：集成125mm×75mm行程的電動XY平臺，配合高精度傾斜調整臺（角度分辨率0.001°），可自動完成樣品定位與調平。創新性的拼接算法支持全視場高分辨率成像，單次測量面積較傳統設備擴大5倍。

智能計算架構：采用傳感器頭內嵌式計算單元，將數據預處理效率提升40%，釋放主機PC性能用于復雜分析。配套的SensoVIEW軟件支持ISO 25178、ASA S2等20余種國際標準參數計算，并內置機器學習模塊，可自動識別表面缺陷類型與成因。

三、應用場景：跨行業的測量解決方案

S lynx 2的技術特性使其在多個制造領域展現不可替代性：

半導體行業

在晶圓減薄、TSV通孔加工等工藝中，其0.1nm垂直分辨率可精準監測亞表面損傷層厚度，結合共聚焦技術的反射率成像功能，可同時評估刻蝕均勻性與側壁粗糙度，為工藝優化提供多維數據支持。

新能源汽車領域

針對電池極片涂層厚度一致性檢測，S lynx 2的非接觸式測量避免了傳統探針式輪廓儀的劃傷風險。其10mm動態范圍可完整覆蓋極片彎曲形貌，AI拼接功能實現米級長度的在線全檢，檢測效率較激光輪廓儀提升8倍。

生物醫學工程

在人工關節表面微結構表征中，共聚焦技術的反射率與高度雙通道成像可區分羥基磷灰石涂層的孔隙率與結晶度。配合3D形貌重建功能，可定量評估涂層與基體的結合強度，為植入物壽命預測提供關鍵參數。

四、市場驗證：用戶價值與技術口碑

自2024年上市以來，S lynx 2已在全球交付超300臺，客戶覆蓋ASML、特斯拉、西門子醫療等行業。國內某頭部半導體企業實測數據顯示，該設備將晶圓表面缺陷檢測的漏檢率從0.3%降至0.02%，同時將檢測周期從12小時縮短至2小時。北京儀光科技有限公司作為Sensofar中國區總代理，提供從安裝調試到工藝開發的全生命周期服務，其"7天快速響應+1年整機質保"政策，進一步鞏固了用戶信心。

五、未來展望：智能表面測量的新范式

隨著工業4.0與AI技術的深度融合，S lynx 2正朝著"測量-分析-決策"一體化平臺演進。2025年推出的SensoVIEW 2.0軟件已集成數字孿生模塊，可實時映射生產線的表面質量數據，并通過API接口與MES/ERP系統無縫對接。可以預見，這款凝聚西班牙光學工程智慧的測量利器，將持續推動制造業向目標邁進。

Sensofar非接觸式3D表面光學輪廓儀S lynx