西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀：高精度表面測量的革命性工具

在現(xiàn)代工業(yè)制造、科研實(shí)驗(yàn)和質(zhì)量控制領(lǐng)域，高精度的表面形貌測量至關(guān)重要。無論是半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密加工，還是生物醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)研究，都需要高分辨率、高重復(fù)性的測量手段。西班牙Sensofar公司推出的共聚焦白光干涉儀（Confocal White Light Interferometer）憑借其超高精度、快速測量和多功能性，成為全球表面測量技術(shù)的選擇。Sensofar高精度表面測量的革命性工具

Sensofar高精度表面測量的革命性工具

（1）共聚焦技術(shù)與白光干涉的結(jié)合

Sensofar的共聚焦白光干涉儀結(jié)合了共聚焦顯微鏡和白光干涉技術(shù)的優(yōu)勢，能夠在不同應(yīng)用場景下實(shí)現(xiàn)測量：

• 共聚焦模式：適用于高反射率或透明材料的表面測量，可提供高分辨率3D形貌數(shù)據(jù)。

• 白光干涉模式：適合超光滑表面（如光學(xué)鏡片、晶圓）的納米級粗糙度測量。

• 混合模式：可智能切換，適應(yīng)不同材料特性，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

（2）超高分辨率與測量速度

• 垂直分辨率：可達(dá)0.1 nm，適用于納米級表面分析。

• 橫向分辨率：光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化，可達(dá)到衍射極限，確保微小結(jié)構(gòu)的清晰成像。

• 高速掃描：采用優(yōu)良的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)技術(shù)，單次測量僅需數(shù)秒，大幅提升檢測效率。

（3）智能軟件與自動(dòng)化分析

Sensofar配備SensoMAP專業(yè)分析軟件，支持：

• 3D形貌重建

• 粗糙度（Ra, Rz, Sa, Sz等參數(shù)）自動(dòng)計(jì)算

• 臺階高度、薄膜厚度測量

• 批量自動(dòng)化檢測，適合生產(chǎn)線集成

2. 主要應(yīng)用領(lǐng)域

（1）半導(dǎo)體與微電子制造

• 晶圓檢測：測量刻蝕深度、CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）后的表面平整度。

• MEMS器件：分析微機(jī)電系統(tǒng)的3D結(jié)構(gòu)，確保工藝一致性。

（2）光學(xué)元件與精密加工

• 透鏡、反射鏡：檢測表面粗糙度，確保光學(xué)性能。

• 超精密模具：測量刀具磨損、加工紋理，優(yōu)化制造工藝。

（3）生物醫(yī)學(xué)與材料科學(xué)

• 生物材料表面：如人工關(guān)節(jié)、牙科植入物的粗糙度分析。

• 涂層與薄膜：測量厚度、均勻性，評估材料性能。

（4）汽車與航空航天

• 發(fā)動(dòng)機(jī)部件：檢測活塞、渦輪葉片的表面質(zhì)量。

• 復(fù)合材料：分析纖維增強(qiáng)材料的微觀結(jié)構(gòu)。

3. 為什么選擇Sensofar共聚焦白光干涉儀？

（1）技術(shù)水平

Sensofar是光學(xué)3D表面測量領(lǐng)域的，其設(shè)備廣泛應(yīng)用于ASML、蔡司、三星等優(yōu)良企業(yè)。

（2）模塊化設(shè)計(jì)，靈活適配不同需求

用戶可根據(jù)需求選擇：

• 不同放大倍率的物鏡（2.5X~150X）

• 電動(dòng)載物臺，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測量

• 環(huán)境隔振系統(tǒng)，確保實(shí)驗(yàn)室級精度

（3）售后服務(wù)與技術(shù)支持

Sensofar在全球設(shè)有技術(shù)支持中心，提供：

• 設(shè)備安裝與培訓(xùn)

• 定期校準(zhǔn)與維護(hù)

• 軟件升級與定制化開發(fā)

4. 成功案例

案例1：某國際半導(dǎo)體公司提升晶圓檢測效率

該公司采用Sensofar S neox系列干涉儀，將晶圓表面檢測速度提升300%，同時(shí)減少人工誤差，良品率提高15%。

案例2：光學(xué)鏡頭制造商優(yōu)化拋光工藝

通過Sensofar設(shè)備的實(shí)時(shí)監(jiān)測，該企業(yè)成功優(yōu)化CMP工藝，將鏡頭表面粗糙度控制在0.5 nm以下，達(dá)到相機(jī)鏡頭的標(biāo)準(zhǔn)。

5. 未來展望

隨著智能制造、納米技術(shù)的快速發(fā)展，高精度表面測量的需求將持續(xù)增長。Sensofar不斷推進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新，未來將整合AI智能分析、云端數(shù)據(jù)管理等功能，為用戶提供更智能、高效的測量解決方案。

西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀憑借高精度、高速度、多功能性，已成為工業(yè)檢測和科學(xué)研究的理想工具。無論是半導(dǎo)體、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)，還是精密制造行業(yè)，它都能提供可靠的測量數(shù)據(jù)，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量、優(yōu)化生產(chǎn)工藝。

如果您正在尋找高精度表面測量解決方案，

西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀無疑是您的選擇！