ZYGO光學輪廓儀便捷的3D表面測量

ZYGO公司的ZeGage Pro 3D光學輪廓儀是一款設計緊湊、操作便捷的非接觸式表面測量系統。它繼承了ZYGO在光學干涉測量領域的經驗，旨在為生產線或實驗室提供可靠的面形測量解決方案。

產品細節與用材：
ZeGage Pro采用一體式設計，結構堅固。其核心光學系統被密封在一個熱穩定性和機械穩定性較高的外殼內，有效減少了環境波動對測量結果的干擾。儀器底座和主體結構采用優質合金材料，保證了設備的剛性。標準工作臺由大理石或類似穩定材料制成，為樣品提供了平穩的測量平臺。

產品性能與用途：
該儀器基于相干掃描干涉（CSI）技術，能夠對從超光滑到粗糙（最高可達1.2 mm RMS）的多種表面進行三維形貌測量。它適用于質量控制、生產檢測和研發等領域，常見于測量半導體、光學元件、精密加工部件、材料表面等的粗糙度、臺階高度、面形輪廓等參數。其自動化功能簡化了操作流程，用戶可通過軟件輕松設置測量點位并執行自動測量。

使用說明：
操作ZeGage Pro通常通過隨機附帶的MetroPro®軟件進行。用戶將樣品放置于工作臺上，通過軟件控制電動載物臺移動至測量位置，使用內置攝像頭聚焦，然后選擇測量程序并開始掃描。儀器會自動完成一系列干涉圖的采集與計算，并生成三維形貌圖和多達上百種參數的分析結果。

主要參數表：

ZYGO光學輪廓儀便捷的3D表面測量