ZYGO光學輪廓儀多用途形貌測量平臺

NewView™ 9000是ZYGO公司的一款經典3D光學輪廓儀，以其靈活性和擴展性而受到關注。它為用戶提供了一個功能強大的平臺，以滿足從基礎研究到高精度工業檢測的多種需求。

產品細節與用材：
NewView 9000采用模塊化設計，用戶可以根據實際應用選擇不同的光源、物鏡、平臺和軟件模塊。系統主體為高剛性金屬結構，光學隔震工作臺有效隔離了外部振動。其精密機械部件和高質量光學元件確保了系統的長期穩定性和測量可重復性。

產品性能與用途：
該系統同樣基于CSI技術，并可選配多種物鏡，從而在橫向視野和分辨率之間取得平衡。它不僅能夠測量高度、粗糙度和臺階，還能進行薄膜厚度分析（選配）和應力 mapping。其用途廣泛，適用于微電子MEMS器件、精密光學表面、藍寶石襯底、金屬加工表面等多種樣品的高精度三維形貌分析。

使用說明：
用戶通過MetroPro®軟件控制NewView 9000。其操作流程包括樣品放置、選擇合適物鏡、自動或手動聚焦、設置掃描參數并執行測量。系統的自動化程度高，可編程進行多點、多區域的批量測量，非常適合進行統計過程控制（SPC）。

主要參數表：

ZYGO光學輪廓儀多用途形貌測量平臺