澤攸ZEM15：電鏡能譜一體分析設備
在材料成分與微觀形貌同步分析的需求中，ZEM15 臺式掃描電鏡能譜一體機憑借集成化設計和實用性能，成為實驗室的理想選擇。它將掃描電子顯微鏡與能譜儀的功能結合，實現了微觀形貌觀察與成分分析的同步進行，為科研和檢測工作提供了便捷的解決方案。
產品細節：集成設計兼顧操作便利
ZEM15 的機身采用緊湊型設計，整體尺寸適中，占地面積約 0.6 平方米，適合放置在常規實驗室工作臺。機身框架選用高強度合金材料，表面經過防腐蝕處理，能適應實驗室復雜環境。設備前端為樣品室，采用側開式門設計，最大可容納直徑 40mm、高度 15mm 的樣品，樣品臺支持 X、Y、Z 三維移動，移動范圍分別為 30mm、30mm、20mm，調節旋鈕操作順暢，定位精度良好。
核心的電子光學系統與能譜探測系統集成在設備上部，電子槍采用鎢燈絲結構，能譜探測器為硅漂移探測器（SDD），兩者位置校準精準，確保電子束照射點與能譜探測區域一致。設備配備 10.1 英寸觸控顯示屏，可同時顯示顯微圖像和能譜分析數據，操作界面包含圖像調節、譜圖分析等功能模塊，布局清晰便于上手。
設備后部設有電源接口、數據傳輸接口和真空系統接口，其中數據接口支持與電腦連接，可實現圖像和能譜數據的導出與進一步分析。真空系統采用內置機械泵，抽氣速度較快，且運行噪音較低，對實驗室環境影響較小。
產品性能：同步分析保障數據關聯
ZEM15 的掃描電鏡部分在高真空模式下，二次電子像分辨率可達 5nm，放大倍數范圍為 20 倍至 8 萬倍，能清晰呈現樣品表面的微觀形貌，如顆粒分布、孔隙結構等細節。能譜分析部分的能量分辨率優于 133eV（Mn Kα），元素檢測范圍覆蓋 B（5）至 U（92），可對樣品表面微區的元素組成進行定性和半定量分析。
設備的成像與分析同步性較好，在觀察微觀形貌的同時，可隨時啟動能譜分析功能，對感興趣區域進行成分探測，減少了樣品移動導致的位置偏差，保證形貌特征與成分數據的對應性。能譜分析的采集時間可根據需求調節，通常 30 秒至 1 分鐘即可獲得滿足需求的譜圖數據，分析效率能滿足常規實驗要求。
真空系統的穩定性良好，從大氣壓降至工作真空度（≤1×10?3 Pa）所需時間約 8 分鐘，且真空度波動較小，確保電子束穩定和能譜探測的準確性。設備的長期工作穩定性表現不錯，連續工作 4 小時后，圖像漂移和能譜峰位偏差均在可接受范圍內。
用材、參數與用途
ZEM15 的關鍵部件選用適配性材料，電子槍燈絲為高純鎢絲，具有較長使用壽命；能譜探測器的窗口為超薄鈹窗，減少低能 X 射線吸收；樣品臺表面為陶瓷涂層，耐高溫且絕緣性好；真空管路采用不銹鋼材質，防腐蝕且密封性能可靠。
部分參數如下：
該設備廣泛應用于材料科學、地質礦物、電子器件、環境監測等領域。在材料科學中，可分析復合材料的相分布與成分對應關系；地質領域用于識別礦物顆粒組成；電子行業可檢測芯片表面污染物的元素成分；環境監測中能分析大氣顆粒物的形貌與元素來源。
使用說明
使用前需檢查設備電源連接是否正常，打開主電源后，設備需預熱 20 分鐘。樣品準備時，導電樣品可直接用導電膠固定，非導電樣品建議進行噴碳處理。將樣品臺放入樣品室并關閉艙門，啟動真空系統，待真空度達標后（屏幕顯示 “真空就緒"），方可進行后續操作。
通過觸控屏調節加速電壓（建議 5-10kV 用于形貌觀察，10-15kV 用于能譜分析），移動樣品臺找到感興趣區域，調節焦距和放大倍數至圖像清晰。進行能譜分析時，點擊 “采集譜圖" 按鈕，選擇點分析、線掃描或面分布模式，設置采集時間后開始分析，譜圖和元素含量數據會實時顯示在屏幕上。
分析完成后，先保存數據至設備內置存儲或通過數據接口導出，再依次關閉電子槍、真空系統，待樣品室氣壓恢復后打開艙門取出樣品。日常維護需每周清潔樣品室，每月檢查真空管路密封性，每半年更換一次真空泵油。
ZEM15 臺式掃描電鏡能譜一體機以其集成化設計、同步分析能力和廣泛的適用性，為微觀形貌與成分關聯分析提供了實用工具，適合各類實驗室開展常規分析工作。
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