Sensofar 光學輪廓儀：理解數據背后的意義

產品簡介

Sensofar 光學輪廓儀：理解數據背后的意義
S neox 的各項參數不僅是設備性能的體現，更與實際測量需求緊密相關，理解參數含義能幫助用戶更好地選擇測量模式與設置參數。

產品型號：S neox

更新時間：2025-09-25

廠商性質：代理商

訪問量：43

產品咨詢 17701039158

產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結構光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學輪廓儀布魯克三維光學輪廓儀

查看全部產品

Sensofar：光學3D輪廓儀在深寬比樣品測量中的關鍵技術解析

揭秘EUV光刻核心技術：如何用納米級測量打造下一代芯片？?

納米級平整的奧秘：CMP技術如何塑造芯片的精密世界?

應用案例|微型 BUMPS 測量難題？SENSOFAR 3D 光學輪廓儀來解決！

詳細介紹在線留言

Sensofar 光學輪廓儀：理解數據背后的意義

S neox 的各項參數不僅是設備性能的體現，更與實際測量需求緊密相關，理解參數含義能幫助用戶更好地選擇測量模式與設置參數。橫向分辨率作為關鍵參數之一，在 100x 物鏡下為 0.12μm，該參數代表設備能分辨的樣品表面最小橫向特征尺寸，例如在檢測半導體芯片線路時，0.12μm 的橫向分辨率可清晰呈現線寬為 0.2μm 的線路結構，滿足精細線路的檢測需求；若選用 2.5x 物鏡，橫向分辨率為 4.8μm，適合大尺寸樣品的快速掃描與宏觀輪廓觀察。

縱向分辨率 0.1nm（白光干涉模式）代表設備對樣品表面高度變化的最小探測能力，該參數在超光滑表面測量中尤為重要，如測量光學鏡片的面型誤差時，0.1nm 的縱向分辨率可捕捉納米級的面型起伏，為鏡片加工精度評估提供精準數據；而在粗糙表面測量中，可適當降低縱向分辨率要求，通過提升掃描速度提高檢測效率。

Sensofar 光學輪廓儀：理解數據背后的意義

掃描深度參數（單次最大 8mm，多焦面疊加模式）決定了設備可測量的樣品表面高度范圍，對于表面起伏較大的樣品，如模具型腔、增材制造零件，8mm 的掃描深度能完整覆蓋樣品表面的高度變化，無需分區域多次掃描，減少拼接誤差；若樣品表面較為平整，如半導體晶圓，可選擇較小的掃描深度，縮短測量時間。傳感器幀率 180 幀 / 秒代表設備每秒采集圖像的數量，高幀率適合動態過程監測，如觀察液體蒸發過程中樣品表面的形貌變化，能捕捉到快速變化的細節；在靜態樣品測量中，可降低幀率以減少數據量，提升數據處理速度。

Sensofar 光學輪廓儀：理解數據背后的意義

上一個：S neoxSensofar 光學輪廓儀：應對復雜測量需求