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產品簡介
Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽Sensofar?S?neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測量模式于一體的三維光學輪廓儀，適用于實驗室研發和工業生產線的表面形貌檢測。
產品分類
Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽
共聚焦模式：利用高 NA 物鏡實現 0.10?µm 橫向分辨率，支持最高 86° 的傾斜角測量，適合金屬模具、陶瓷基板等陡坡表面的三維重建。
白光干涉模式：通過波長掃描與相干門控實現亞納米級縱向分辨率（0.1?nm），可對光學鏡片、薄膜等超光滑表面進行無接觸測量，且具備抗振動技術提升測量可靠性。
多焦面疊加（MFI）模式：在單次掃描中疊加多個焦平面，最大測量深度可達 8?mm，掃描速度保持在 3?mm/s，滿足大粗糙度或厚膜樣品的快速測量需求。
系統通過自適應光學引擎自動調節光源波長、入射角度和算法參數，實現模式間的智能切換，降低操作復雜度。