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產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀Sensofarlynx2Sensofar白光干涉儀在微電子檢測(cè)應(yīng)用?
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Sensofar白光干涉儀在微電子檢測(cè)應(yīng)用?在微電子和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，對(duì)元件表面形貌的量化控制是工藝流程中的一環(huán)。Sensofar S lynx輪廓儀因其非接觸、高分辨率的特點(diǎn)，在該領(lǐng)域有相應(yīng)的應(yīng)用空間。
Sensofar白光干涉儀在微電子檢測(cè)應(yīng)用
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